中圖儀器SEM超清掃描電鏡品牌采用鎢燈絲電子槍?zhuān)梢栽谙鄬?duì)較低的真空度下工作,通常只需要兩級(jí)真空泵系統(tǒng)獲得 0.001Pa 左右的真空度即可滿(mǎn)足要求,而不需要像場(chǎng)發(fā)射電子槍那樣的超高真空環(huán)境,這不僅降低了真空系統(tǒng)的復(fù)雜度和成本,還縮短了抽真空的時(shí)間,提高了工作效率。
產(chǎn)品分類(lèi)
中圖儀器SEM超清掃描電鏡品牌采用鎢燈絲電子槍?zhuān)梢栽谙鄬?duì)較低的真空度下工作,通常只需要兩級(jí)真空泵系統(tǒng)獲得 0.001Pa 左右的真空度即可滿(mǎn)足要求,而不需要像場(chǎng)發(fā)射電子槍那樣的超高真空環(huán)境,這不僅降低了真空系統(tǒng)的復(fù)雜度和成本,還縮短了抽真空的時(shí)間,提高了工作效率。
CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀(guān)尺度形貌觀(guān)測(cè)和分析,不同于立式電鏡,它無(wú)需占據(jù)大量空間來(lái)容納整個(gè)電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶(hù)日常工作的桌面上,在用戶(hù)手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。
1.高分辨率,滿(mǎn)足用戶(hù)觀(guān)測(cè)需求;
2.快速抽放氣,縮短等待時(shí)間;
3.高易用性
可快速成像,一鍵成片;
4.多種成像參數(shù)
滿(mǎn)足專(zhuān)業(yè)用戶(hù)的調(diào)節(jié)需求;
5.高抗振防磁性能
強(qiáng)抗干擾能力;
6.可選配低真空模式,保證用戶(hù)能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉(cāng)內(nèi)真空度,進(jìn)而對(duì)不同類(lèi)型的樣品進(jìn)行觀(guān)測(cè)。
7.大樣品倉(cāng)
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時(shí),具有比肩立式電鏡的大倉(cāng)室,從而容納更大尺寸樣品;
8.多探測(cè)器
可實(shí)現(xiàn)四分窗同時(shí)掃描成像。
1.高易用性快速成像、一鍵成片,無(wú)需過(guò)多人工調(diào)節(jié)。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米級(jí)別景深,具有高空間分辨率。
4.多探測(cè)器可實(shí)現(xiàn)四分窗同時(shí)掃描成像。
5.抗振性能優(yōu)異。
該電鏡外型緊湊,空間適用性強(qiáng),整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計(jì),避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應(yīng)用范圍。同時(shí),該系列臺(tái)式電鏡具有非常豐富的自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌?lèi)型的樣品進(jìn)行觀(guān)測(cè),具有高空間分辨率。
用戶(hù)可在CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時(shí)接收多種信號(hào),對(duì)樣品進(jìn)行分析。
憑借中圖儀器SEM超清掃描電鏡品牌空間分辨率出色和易用性強(qiáng),用戶(hù)能夠非??旖莸剡M(jìn)行各項(xiàng)操作。甚至在自動(dòng)程序的幫助下,無(wú)需過(guò)多人工調(diào)節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
CEM3000系列上還運(yùn)用了快速抽放氣設(shè)計(jì),讓用戶(hù)在使用時(shí)不再等待,且全系列可選配低真空系統(tǒng),以便精準(zhǔn)調(diào)節(jié)樣品倉(cāng)內(nèi)真空度,滿(mǎn)足不同樣品的觀(guān)測(cè)需求。此外,該系列電鏡也可通過(guò)加裝各類(lèi)探頭和附件,滿(mǎn)足用戶(hù)的拓展性需求,這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
CEM3000A(大樣品倉(cāng)型):70mm×70mm樣品倉(cāng),兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B(抗振型):專(zhuān)為振動(dòng)環(huán)境設(shè)計(jì),抽氣更快(低真空僅40秒),成像更穩(wěn)定。
型號(hào) | CEM3000A(大樣品倉(cāng)型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測(cè)器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動(dòng)化軟件 | 標(biāo)配:自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、一鍵圖像增強(qiáng) | |
選配:顆粒度統(tǒng)計(jì)、孔隙率測(cè)量、纖維測(cè)量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時(shí)間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺(tái) | 自動(dòng)軸 | X,Y,T |
手動(dòng)軸 | R,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動(dòng)旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉(cāng)內(nèi)相機(jī) | 導(dǎo)航相機(jī) | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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